Título/s: Testing of a MEMS SOI microrelay
Autor/es: Lozano, A.; Malatto, L.; Fraigi, L.; Lupi, D.
Institución: INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires, AR
Editor: INTI
Palabras clave: Dispositivos electrónicos; Microelectrónica; Envasamiento; Relés; Ensayos; Actuadores; Materiales cerámicos; Prototipos
Idioma: eng
Fecha: 2004
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