Título/s: Diseño, construcción y puesta a punto de una sala limpia para procesos microelectrónicos
Autor/es: Milano, O.; Malatto, L.; Fraigi, L.; Lupi, D.
Institución: INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires, AR
Editor: INTI
Palabras clave: Microelectrónica; Contaminación ambiental; Partículas
Idioma: spa
Fecha: 2004
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