Título/s: Encapsulado de MEMS en base a tecnologías FC y LTCC
Autor/es: Malatto, L.; Fraigi, L.; Lupi, D.
Institución: INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires, AR
Editor: INTI
Palabras clave: Encapsulación; Dispositivos electrónicos; Microelectrónica; Diseño; Microsistemas
Idioma: spa
Fecha: 2002
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