Término solicitado: ALURRALDE, F./(22)
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| Tipo de Docum.: | artículo; documento de conferencia |
| Título: | Radiation effects on SOI electrostatic comb drive actuators of MEMS devices |
| Autor: | Lozano, A.; Palumbo, F.; Alurralde, F. |
| Autor Instit.: | INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires. AR; Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. CONICET. Buenos Aires. AR; Comisión Nacional de Energía Atómica. CNEA. Buenos Aires. AR |
| Título Ser./Col.: | Proceedings of the Argentine School of Micro-Nanoelectronics, Technology and Applications 2009, p.46-49 |
| Idioma: | eng |
| Datos de Edición: | s.l. IEEE. 2009. |
| Pág./Vol.: | 4p. |
| Unidad técnica: | INTI-Electrónica e Informática. |
| Descriptores: | Actuadores; Dispositivos electrónicos; Radiación; Microelectrónica; Electrostática; Prototipos |
Trabajo de INTI |
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| Ubicación: | 4677 |
| Disponibilidad: | Consulta in situ |
Fin
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