Término solicitado: ELECTROMECANICA/(66)
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| Título: | JOURNAL OF MICRO/NANOLITHOGRAPHY, MEMS AND MOEMS |
| Otro Título: | JM³ |
| URL: | http://spie.org/x865.xml |
| ISSN: | 1932-5150 |
| Edición: | BELLINGHAM. GB |
| Descriptores: | LITOGRAFIA; ELECTRONICA; ELECTROMECANICA; FOTONES |
| Ubicación: | 0278 - PRES |
| Colección: | año/s, volumen/es(números)  Ver Indices 2008, 7 |
Fin
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