Término solicitado: TANDON, U.S./(22)
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Tipo de Docum.: | libro |
Título: | Patterning of material layers in submicron region |
Autor: | Tandon, U.S.; Khokle, W.S. |
Idioma: | eng |
Datos de Edición: | New York, US; Brisbane, GB; Toronto, CA; Singapore. SG. Wiley. 1993. |
Pág./Vol.: | 183p. |
Descriptores: | Microelectrónica; Dispositivos electrónicos; Micrones; Nanotecnología; Litografía; Electrones; Iones; Rayos X |
Ubicación: | Electrónica/E-24 |
Disponibilidad: | INTI-Electrónica |
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