Término solicitado: ACERO, MARIA CRUZ/(22)
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| Tipo de Docum.: | libro |
| Título: | Microtecnología: diario de un proceso. Fabricación de un microacelerómetro |
| Autor: | Acero, María Cruz; Esteve, Jaume; Plaza, José Antonio; Lora-Tamayo, Emilio |
| Autor Instit.: | Consejo Superior de Investigaciones Científicas. CSIC. Madrid. ES |
| Título Ser./Col.: | Biblioteca de Ciencias, 36 |
| Idioma: | spa |
| Datos de Edición: | Madrid. ES. CSIC. 2010. |
| Pág./Vol.: | 157p. 1 DVD. |
| Notas: | La Biblioteca posee 2 (ejemplares); Un ejemplar en préstamo permanente a INTI-Electrónica e Informática. |
| Descriptores: | Microsistemas; Tecnología apropiada; Microelectrónica; Acelerómetros; Procesos de transferencia; Mecánica; Propiedades eléctricas; Piezorresistencia; Fabricación; Silicio; Dióxido de silicio; Oxidación; Decapado; Resinas; Boro; Recubrimientos metálicos; Grabados; Litografía; Vidrios; Soldadura; Dispositivos electrónicos; Dispositivos piezoeléctricos |
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| Ubicación: | 621.38/A173; Electrónica/Microsistemas/11; PEELEC/1; PE/113 |
| Disponibilidad: | Préstamo |
Fin
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