Término solicitado: MENDIVE, DAMIAN/(22)
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| Tipo de Docum.: | documento de conferencia |
| Título: | Estudio por microscopía de fuerza atómica de películas delgadas depositadas por PVD (physical vapor deposition) sobre Si (100) |
| Autor: | Corengia, Pablo; Ybarra, Gabriel; Mendive, Damián; Egidi, Daniel; Fraigi, Liliana; Quinteiro, Mario; Moina, Carlos |
| Autor Instit.: | Centro de Investigación y Desarrollo en Mecánica. INTI-Mecánica. Buenos Aires. AR; Centro de Investigación y Desarrollo en Electrodeposición y Procesos Superficiales. INTI-Procesos Superficiales. Buenos Aires. AR; Centro de Investigación y Desarrollo en Telecomunicaciones, Electrónica e Informática. INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires. AR |
| Reunión: | Instituto Nacional de Tecnología Industrial. INTI. Buenos Aires. AR, Jornadas de desarrollo e innovación, 3, Parque Tecnológico Miguelete, 2000 |
| Idioma: | spa |
| Datos de Edición: | Buenos Aires. AR. INTI-Mecánica, INTI-Procesos Superficiales, INTI-Electrónica e Informática. 2000. |
| Pág./Vol.: | 2p. |
| Unidad técnica: | INTI-Mecánica; INTI-Procesos Superficiales; INTI-Electrónica e Informática. |
| Descriptores: | Películas delgadas; Microscopía; Deposición; Topografía; Rugosidad de superficies |
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Trabajo de INTI |
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| Ubicación: | 4455 |
| Disponibilidad: | Consulta in situ |
Fin
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